Process / pipelineSurface spectroscopy
X射线光电子能谱
X射线光电子能谱（XPS），也称为化学分析电子能谱（ESCA），是一种表面敏感的分析技术，通过高能X射线激发出的光电子的动能来测量材料的成分。XPS由Kai Siegbahn于1967年开发，可测定表面约10纳米深度内的元素组成、化学氧化态和化学键合。它在材料科学的表面表征、腐蚀研究、氧化物分析和界面化学中不可或缺。
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来源
- Siegbahn, K., Nordling, C., Fahlman, A., et al. (1967). ESCA: Atomic, Molecular and Solid State Structure Studied by Means of Electron Spectroscopy. Almqvist and Wiksells. link ↗
- Briggs, D., & Seah, M. P. (2003). Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy (2nd ed.). John Wiley & Sons. link ↗
- Moulder, J. F., Stickle, W. F., Sobol, P. E., & Bomben, K. D. (1992). Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy. Physical Electronics. link ↗
如何引用本页
ScholarGate. (2026, June 3). X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS). ScholarGate. https://scholargate.app/zh/materials-science/x-ray-photoelectron-spectroscopy
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