Process / pipelineElectron microscopy analysis
能量色散X射线谱
能量色散X射线谱（Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS）是一种分析技术，通过分析电子轰击样品微区时发射的特征X射线，来识别和量化样品中的化学元素。该技术起源于莫斯利（Moseley）在1913年发现特征X射线谱线，并在20世纪70年代发展成为实用的微量分析工具。EDS常与扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）结合使用，进行空间分辨的元素分析。它在材料表征中不可或缺，用于物相识别、成分分布图绘制和合金开发。
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来源
- Goldstein, J. I., Newbury, D. E., Michael, J. R., & Ritchie, R. O. (2017). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis (3rd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-1-4939-6676-9 ↗
- Reed, S. J. B. (1993). Electron Microprobe Analysis (2nd ed.). Cambridge University Press. link ↗
- Williams, D. B., & Carter, C. B. (2009). Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (2nd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-0-387-76501-3 ↗
如何引用本页
ScholarGate. (2026, June 3). Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). ScholarGate. https://scholargate.app/zh/materials-science/energy-dispersive-x-ray-spectroscopy
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