Process / pipelineElectron microscopy analysis
에너지 분산형 X선 분광법
에너지 분산형 X선 분광법(EDS)은 전자 충격 시 방출되는 특성 X선을 분석하여 시료 미세 부피 내 화학 원소를 식별하고 정량하는 분석 기법입니다. 1913년 Moseley의 특성 X선 스펙트럼 발견에 뿌리를 두고 1970년대까지 실용적인 미세 분석 도구로 발전한 EDS는 주사 전자 현미경(SEM) 및 투과 전자 현미경(TEM)에 통합되어 공간 분해능을 갖춘 원소 분석에 사용됩니다. 이는 상 식별, 조성 매핑 및 합금 개발을 위한 재료 특성 분석에 필수적입니다.
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출처
- Goldstein, J. I., Newbury, D. E., Michael, J. R., & Ritchie, R. O. (2017). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis (3rd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-1-4939-6676-9 ↗
- Reed, S. J. B. (1993). Electron Microprobe Analysis (2nd ed.). Cambridge University Press. link ↗
- Williams, D. B., & Carter, C. B. (2009). Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (2nd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-0-387-76501-3 ↗
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ScholarGate. (2026, June 3). Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). ScholarGate. https://scholargate.app/ko/materials-science/energy-dispersive-x-ray-spectroscopy
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