Process / pipelineSurface spectroscopy
X선 광전자 분광법
X선 광전자 분광법(XPS)은 화학 분석을 위한 전자 분광법(ESCA)이라고도 하며, 고에너지 X선에 의해 물질에서 방출된 광전자의 운동 에너지를 측정하는 표면 민감 분석 기술입니다. 1967년 Kai Siegbahn이 개발한 XPS는 표면으로부터 약 10 나노미터 이내의 원소 조성, 화학적 산화 상태 및 화학 결합을 결정합니다. 표면 특성화, 부식 연구, 산화물 분석 및 계면 화학 분야에서 재료 과학에 필수적입니다.
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출처
- Siegbahn, K., Nordling, C., Fahlman, A., et al. (1967). ESCA: Atomic, Molecular and Solid State Structure Studied by Means of Electron Spectroscopy. Almqvist and Wiksells. link ↗
- Briggs, D., & Seah, M. P. (2003). Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy (2nd ed.). John Wiley & Sons. link ↗
- Moulder, J. F., Stickle, W. F., Sobol, P. E., & Bomben, K. D. (1992). Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy. Physical Electronics. link ↗
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ScholarGate. (2026, June 3). X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS). ScholarGate. https://scholargate.app/ko/materials-science/x-ray-photoelectron-spectroscopy
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