การวิเคราะห์สเปกตรัมรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงาน
การวิเคราะห์สเปกตรัมรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงาน (EDS) เป็นเทคนิคการวิเคราะห์ที่ระบุและหาปริมาณธาตุเคมีในปริมาตรขนาดเล็กของตัวอย่าง โดยการวิเคราะห์รังสีเอกซ์ลักษณะเฉพาะที่ปล่อยออกมาในระหว่างการชนด้วยอิเล็กตรอน EDS ซึ่งมีรากฐานมาจากการค้นพบเส้นรังสีเอกซ์ลักษณะเฉพาะของโมสลีย์ในปี 1913 และได้รับการพัฒนาเป็นเครื่องมือวิเคราะห์ขนาดเล็กที่ใช้งานได้จริงในช่วงทศวรรษที่ 1970 EDS ถูกรวมเข้ากับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) และกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน (TEM) สำหรับการวิเคราะห์ธาตุแบบแยกตามตำแหน่ง EDS เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในการจำแนกลักษณะวัสดุสำหรับการระบุเฟส การทำแผนที่องค์ประกอบ และการพัฒนาโลหะผสม
อ่านวิธีฉบับเต็ม
เข้าสู่ระบบด้วยบัญชีฟรีเพื่ออ่านส่วนนี้
แผนที่ระเบียบวิธี
ย่านของระเบียบวิธีที่เกี่ยวข้องกัน — เลือกโหนดเพื่อสำรวจ
แหล่งอ้างอิง
- Goldstein, J. I., Newbury, D. E., Michael, J. R., & Ritchie, R. O. (2017). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis (3rd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-1-4939-6676-9 ↗
- Reed, S. J. B. (1993). Electron Microprobe Analysis (2nd ed.). Cambridge University Press. link ↗
- Williams, D. B., & Carter, C. B. (2009). Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (2nd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-0-387-76501-3 ↗
วิธีอ้างอิงหน้านี้
ScholarGate. (2026, June 3). Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). ScholarGate. https://scholargate.app/th/materials-science/energy-dispersive-x-ray-spectroscopy
ระเบียบวิธีใด?
วางระเบียบวิธีนี้เคียงข้างระเบียบวิธีใกล้เคียงที่สุด แล้วอ่านเปรียบเทียบกัน — คลังวางหนังสือไว้บนโต๊ะให้แล้ว ส่วนการเลือกเป็นของท่าน
- Atomic Force Microscopyวัสดุศาสตร์↔ เปรียบเทียบ
- การเลี้ยวเบนอิเล็กตรอนในพื้นที่เลือกวัสดุศาสตร์↔ เปรียบเทียบ
- X-ray Photoelectron Spectroscopyวัสดุศาสตร์↔ เปรียบเทียบ