Рентгеноспектральный микроанализ с дисперсией по энергии

Рентгеноспектральный микроанализ с дисперсией по энергии (EDS) — это аналитический метод, который идентифицирует и количественно определяет химические элементы в микрообъемах образцов путем анализа характеристического рентгеновского излучения, испускаемого при электронном облучении. Основанный на открытии Мозли в 1913 году линий характеристического рентгеновского излучения и разработанный как практический инструмент микроанализа к 1970-м годам, EDS интегрирован в сканирующие электронные микроскопы (SEM) и просвечивающие электронные микроскопы (TEM) для пространственно-разрешенного элементного анализа. Он незаменим при характеризации материалов для идентификации фаз, картирования состава и разработки сплавов.