Process / pipelineElectron microscopy analysis
エネルギー分散型X線分光法
エネルギー分散型X線分光法（EDS）は、電子線照射中に放出される特性X線を分析することにより、試料の微小領域における化学元素を同定・定量する分析技術である。1913年のモーゼリーによる特性X線スペクトルの発見に端を発し、1970年代に実用的な微量分析ツールとして発展したEDSは、空間分解能を持った元素分析のために走査型電子顕微鏡（SEM）や透過型電子顕微鏡（TEM）に組み込まれている。材料キャラクタリゼーションにおける相同定、組成マッピング、合金開発に不可欠である。
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出典
- Goldstein, J. I., Newbury, D. E., Michael, J. R., & Ritchie, R. O. (2017). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis (3rd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-1-4939-6676-9 ↗
- Reed, S. J. B. (1993). Electron Microprobe Analysis (2nd ed.). Cambridge University Press. link ↗
- Williams, D. B., & Carter, C. B. (2009). Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (2nd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-0-387-76501-3 ↗
このページの引用方法
ScholarGate. (2026, June 3). Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). ScholarGate. https://scholargate.app/ja/materials-science/energy-dispersive-x-ray-spectroscopy
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