原子間力顕微鏡

原子間力顕微鏡（AFM）は、鋭利なカンチレバー先端と試料表面との相互作用を監視することにより、ナノスケールの表面トポグラフィーと機械的特性を測定する走査型プローブ顕微鏡技術である。1986年にゲルト・ビニングによって走査型トンネル顕微鏡の拡張として発明されたAFMは、電気伝導性や真空操作を必要としないため、事実上あらゆる材料に適用可能である。サブナノメートルの垂直分解能とナノメートルに迫る横方向分解能を持つ3次元トポグラフィーマップを提供すると同時に、機械的、電気的、化学的特性の同時測定も可能である。