ナノインデンテーション

ナノインデンテーション（またはインストルメンテッドインデンテーション）は、硬いプローブを試料表面に押し込み、荷重と貫入深さを連続的に記録することで、材料の硬度と弾性率を測定する技術である。1992年にOliverとPharrによって開発されたナノインデンテーションは、マイクロメートルに迫る空間分解能で、薄膜、微小体積、ナノスケール構造の機械的特性の測定を可能にする。これは材料科学において、コーティング、界面、およびサブミクロンスケールでの機械的特性を評価するための標準的なツールである。