纳米压痕

纳米压痕（Nanoindentation），或称仪器化压痕（instrumented indentation），是一种通过将硬探针压入样品表面并连续记录载荷和压入深度来测量材料硬度和弹性模量的方法。该技术由Oliver和Pharr于1992年开发，能够以接近微米的空间分辨率测量薄膜、小体积材料和纳米尺度结构的力学性能。它是材料科学中表征亚微米尺度涂层、界面和力学性能的标准工具。