Energiedispersive Röntgenspektroskopie
Die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) ist eine analytische Technik, die chemische Elemente in Mikrovola von Proben identifiziert und quantifiziert, indem sie charakteristische Röntgenstrahlen analysiert, die während des Elektronenbeschusses emittiert werden. Basierend auf Moseleys Entdeckung charakteristischer Röntgenlinien im Jahr 1913 und entwickelt als praktisches mikroanalytisches Werkzeug in den 1970er Jahren, ist EDS in Rasterelektronenmikroskopen (SEM) und Transmissionselektronenmikroskopen (TEM) für die ortsauflösende Elementanalyse integriert. Sie ist für die Materialcharakterisierung zur Phasenidentifizierung, Zusammensetzungskartierung und Legierungsentwicklung unverzichtbar.
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Quellen
- Goldstein, J. I., Newbury, D. E., Michael, J. R., & Ritchie, R. O. (2017). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis (3rd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-1-4939-6676-9 ↗
- Reed, S. J. B. (1993). Electron Microprobe Analysis (2nd ed.). Cambridge University Press. link ↗
- Williams, D. B., & Carter, C. B. (2009). Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (2nd ed.). Springer. DOI: 10.1007/978-0-387-76501-3 ↗
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ScholarGate. (2026, June 3). Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). ScholarGate. https://scholargate.app/de/materials-science/energy-dispersive-x-ray-spectroscopy
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