Наноіндентування

Наноіндентування, або інструментальне індентування, — це метод вимірювання твердості та модуля пружності матеріалів шляхом вдавлювання твердого зонда в поверхню зразка та безперервної реєстрації навантаження та глибини проникнення. Розроблений Олівером і Фарром у 1992 році, наноіндентування дозволяє вимірювати механічні властивості тонких плівок, малих об’ємів та нанорозмірних структур з просторовою роздільною здатністю, що наближається до мікрометрів. Це стандартний інструмент у матеріалознавстві для характеристики покриттів, інтерфейсів та механічних властивостей на субмікронному рівні.