Nanoindentation

Nanoindentation, oder instrumentierte Indentation, ist eine Technik zur Messung der Härte und des Elastizitätsmoduls von Materialien, bei der eine harte Spitze in eine Probenoberfläche gedrückt und kontinuierlich Last und Eindringtiefe aufgezeichnet werden. Die 1992 von Oliver und Pharr entwickelte Nanoindentation ermöglicht die Messung mechanischer Eigenschaften von dünnen Schichten, kleinen Volumina und nanoskaligen Strukturen mit einer räumlichen Auflösung im Mikrometerbereich. Sie ist das Standardwerkzeug in der Materialwissenschaft zur Charakterisierung von Beschichtungen, Grenzflächen und mechanischen Eigenschaften im submikronen Bereich.