Nanoindentasi

Nanoindentasi, atau indentasi terinstrumentasi, adalah teknik untuk mengukur kekerasan dan modulus elastisitas material dengan menekan probe keras ke permukaan sampel dan terus-menerus merekam beban dan kedalaman penetrasi. Dikembangkan oleh Oliver dan Pharr pada tahun 1992, nanoindentasi memungkinkan pengukuran sifat mekanik film tipis, volume kecil, dan struktur skala nano dengan resolusi spasial mendekati mikrometer. Ini adalah alat standar dalam ilmu material untuk mengkarakterisasi pelapis, antarmuka, dan sifat mekanik pada skala submikron.